特長

本装置は、FPD(LCD、PDP)基板や薄膜太陽電池などで使用する素ガラスへ「トレサビリティ」や「工程管理」を目的とした2Dコードや文字をガラス内面へマーキングを行う装置です。

SHGレーザまたはTHGレーザによる、ガラス内面のインナーマーキングであり、パーティクルが全く発生しないクリーンなマーキングとなります。
本システムは、上流からコンベア搬送される基板を当装置のコンベアで受け取り、マーキング（2Dコード＆文字）と2Dコード読取を行い、下流コンベアへ搬出いたします。
また、2台の主要コンポーネントによる同時並列処理により、基板の位置決めや基板への2Dコード・文字列のマーキング、2Dコードの読取照合、基板の搬入出等の一連動作を行います。

• マルチレーザヘッドと基板搬入出動作の並列処理化による、高スループット
• マーキング直後の読み取り照合機能で信頼性を確保
• 無発塵マーキング
• 前後工程の処理が不要
• レーザヘッド毎に独立したオートフォーカス機構で安定したマーキングが可能