ミヤチテクノスのシステムには、培った溶接技術や加工ノウハウが詰まっています。「レーザ溶接装置」「レーザ加工機」「抵抗溶接機器」を使用したシステムはもちろん、それらを組み合わせたシナジー効果で、ワンランク上のシステムをご提供いたします。
基本波とSHGレーザ加工機の選択ができ、高品質なソフトマーキング・
ハードマーキングが可能です。
野田工場にデモ機導入。テスト依頼承ります!

シリコンウエハに文字や、二次元コード等のIDのレーザマーキングを
行う装置です。
・ソフトマーキング : SHGレーザ使用
シリコンウエハの表面のみを溶融させるので、マーキング時に
パーティクルが発生しません。
・ハードマーキング : 基本波レーザ使用
シリコンウエハ表面を掘り下げるマーキングです。
深掘りマーキングのため、パーティクルが発生しますが、
視認性に優れており、洗浄・研磨後にも認識可能です。
【ソフトマーキング】 【ハードマーキング】
φ70μm 深さ2.5μm φ60μm 深さ100μm
【装置内部】 【操作画面】
※クリックすると拡大画面が見られます。
| 仕 様 |
対象ウエハ | 12インチ(2カセットFOUP) 6、8インチ対応可能 |
| マーキングの仕様 | ソフトマーキング:φ70μm、深さ2.5μm
ハードマーキング:φ60μm、深さ最大100μm |
|
| 加工精度 | ± 200μm(オプション±75μm) | |
| 生産能力 | 150WPH(5×9ドット、12文字) | |
| 装置寸法、重量 | 1400(W)×2033(D)×2000(H)mm、1200kg |
薄膜の高品質・高速レーザ加工が可能なスクライバー装置!
西日本サービスセンターにデモ機導入。テスト依頼承ります! ![]()

薄膜スクライバー装置は、主に薄膜型太陽電池(TFPV : thin-film photovoltaics)の薄膜をレーザ加工するための装置です。近年地球環境意識の高まりに伴い、薄膜型太陽電池の需要が増えています。
薄膜型太陽電池の製造には、4辺の縁部(エッジ)にレーザ光を照射し、薄膜を除去して絶縁するエッジデリーション(Edge Deletion)工程が必須であり、本装置により、このエッジデリーションの加工が高品質、高速に行えます。
また、その他の用途として、ITO膜を使用するタッチパネル等の薄膜加工などにも対応可能です。
【スクライブイメージ】

| 仕 様 |
搭載レーザ装置 | YAG基本波(1,064nm)、最大200W加工機 |
| ビーム・サイズ | 最大600μm |
ウエハレベルCSPの各チップに対して、文字等のIDのマーキングを行う装置です

| 仕 様 |
対象ウエハ | 8・12インチ又は6・8インチ |
| マーキングの種類 | ブラックマーキング、ホワイトマーキング | |
| マーキング位置精度 | ±20 - 250μm(一括マーキング範囲によります) | |
| タクトタイム | 6min(1000チップを9分割でマーキングする場合) | |
| 装置寸法 | 1825(W)×1085(D)×1230(H)mm(8・12インチの場合) |
フラットパネル等の透明ガラス内面にマイクロクラックを形成し、文字・二次元コード等のIDのマーキングを行う装置です

| 仕 様 |
対象基板寸法 | 〜第8世代(厚み0.6mm〜) |
| タクトタイム | 50s(G8、4面取り、2ヘッドの場合) | |
| マーキング位置精度 | 200μm | |
| 上下流装置 | コンベア又はロボット | |
| 装置寸法 | 2800(W)×11000(D)×2500(H)mm(第8世代の場合) |
透明ガラスの表面、又は裏面に形成された薄膜をレーザにより除去し、文字・二次元コード等の
IDのマーキングを行う装置です

| 仕 様 |
対象基板寸法 | 〜第8世代(厚み0.4×1〜1.1×2mm) |
| タクトタイム | 200s(G8、30面取り、2ヘッドの場合) | |
| マーキング位置精度 | 80μm | |
| 上下流装置 | コンベア又はロボット | |
| 装置寸法 | 3000(W)×6500(D)×3000(H)mm(第8世代の場合) |
ガラス又はフィルム上に形成された薄膜を、レーザにより除去する装置です

| 仕 様 |
対象基板寸法 | ガラス基板又はフィルム |
| 適用レーザ | 基本波、SHG、THG | |
| マーキング位置精度 | 30μm | |
| 上下流装置 | ロボット又はリールユニット | |
| 装置寸法 | 3000(W)×1400(D)×2250(H)mm |
モータの供給から抵抗溶接機によるヒュージング、モータの搬出まで、一連の工程を
全自動で行なう装置です

| 仕 様 |
対象モータ寸法 | コア径ø30mm以上のモータ |
| タクト | 78s(30セグメントの場合) | |
| 上下流装置 | ロボット | |
| 装置寸法 | 1000(W)×700(D)×1600(H)mm |